采用 3D 激光掃描，通過(guò)分析 Z 向高度特征，檢測(cè)產(chǎn)品的溢膠狀態(tài)，同時(shí)， 還可以完成產(chǎn)品高度差平面度的測(cè)量。

·測(cè)量應(yīng)用：適用于產(chǎn)品的溢膠以及高度差、平面度檢測(cè)；

·4 個(gè)檢測(cè)工位，同時(shí)測(cè)量 4 片產(chǎn)品；

·3D 激光掃描，測(cè)量膠體 Z 向高度；

·L 型定位夾具，定位精準(zhǔn)；

·SPC 數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)；

·測(cè)量精度 5μm。